ESDEMC HBM测试方案对比

ESDEMC的HBM测试设备及服务,针对多种的测试场景拥有不同的测试方案,本文就“手动 – 两引脚”“机械自动化 – 两引脚“”继电器 – 多引脚”测试方案进行对比。

HBM测试方案对比
测试方案手动 – 两引脚机械自动化 – 两引脚继电器 – 多引脚
Test equipment
测试设备
ES612AES612A +  ES650/其他(半)自动化探针台 ES660、ES612A
Test fixture
测试夹具
Test fixture
测试夹具
测试钩、探针探针
(ES650: 探针无固定间距;一般自动化探针台:固定间距探针)
继电器模块+测试夹具转接板
Applicable DUT type
适用DUT类型
晶圆、引脚少的封装器件晶圆、引脚较多的封装器件引脚多的封装器件
Test method
测试方式
手动操作,人工将测试夹具固定至被测引脚对软件设定测试引脚对序列,自动化控制探针接触引脚对,依次测试通过测试夹具转接板固定被测器件,程控继电器通过转接板连接引脚,自动化测试
Test equipment parasitic
测试设备寄生参数
某些测试情况下不属于低寄生测试设备
Test pin pair
测试引脚
1 对 11对11对1、1对N
Test speed
测试速度
中等
Test equipment price
设备造价
中等 ~ 高(取决于探针台价格)中等 ~ 高 (取决于测试引脚数)
Number of applicable pins
适用引脚数量
适用于引脚数少的器件无引脚数量限制取决于继电器模块配置,选择多达2056个引脚
Adapter Board Requirements
转接板需求
不需要不需要需要
Device packaging model requirements
器件建模需求
不需要需要器件引脚信息和位置信息精准模型需要器件引脚功能信息、对应夹具位置信息准确模型
Automaticity
自动化程度
低,依赖人工操作
Accuracy
精度
高,需引脚定位准确一般,受到设备寄生参数影响
Applicable scenarios
适用场景
开发阶段、自动化测试结果部分验证,操作简便晶圆、器件批量两引脚测试芯片等多引脚器件的高密度自动化测试,可与闩锁测试共用机台(需另外配置闩锁测试需要的电源)
Test Consistency
测试一致性
一般,受寄生参数影响
Maintenance and Troubleshooting 维护与故障排除除了主机和波形模块的维护和故障排除,其他较容易除了主机和波形模块外,还需关注整个控制系统的维护与故障排除除了主机和波形模块外,还需关注继电器模组维护与故障排除
Program-Controlled Testing
程控测试
手动测试、软件程控可选软件程控软件程控