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ES612A ESD 测试仪 (HBM, HMM, MM, LU, TLU)
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ES612A ESD 测试仪 (HBM, HMM, MM, LU, TLU)

1.描述

ES612A是一款多功能高性能ESD测试系统，适用于晶圆级与封装级器件评估。该系统支持行业标准ESD测试模型，包括HBM、HMM和MM。内置的直流特性分析功能，可简化ESD失效阈值的判定流程。为增强系统灵活性，ES612A可选配多引脚继电器模块或基于继电器的HBM/MM/LU ATE扩展模块，其中台式扩展模块最高支持到512个引脚，而机柜一体化解决方案最高支持到2560个引脚，是进行器件全面认证与可靠性测试的理想解决方案。

系统的脉冲源设计与脉冲传输方式，确保了波形能够精准传递到被测器件本身。每一次ESD事件中的电流波形均可被自动采集并分析。同时，系统也能采集电压波形，用于确定保护电路的启动电平。这些电压波形还可作为失效判定的另一个重要手段，因为ESD事件后器件的直流特性参数会发生变化。

 

2. 特性

  • 高精度脉冲低寄生参数的HBM/HMM/MM 测试仪
  • 极高的可配置性与可扩展性
  • 基于机器人自动化探针（无限管脚），基于继电器自动化最高支持2560 引脚，8个电源
  • 低寄生脉冲模块完美兼容探针台操作
    • 配备大触摸屏，支持固件升级
    • 可选 闩锁测试功能
    • 可选 软件控制的自动化脉冲及失效测量
  • 可选 脉冲IV及静态IV特性分析
  • 可选配UPS电源，断电持续工作时间（≥5min）
  • 闩锁模块支持后续升级动态闩锁（Dynamic Latching）和瞬态闩锁（Transient Latch-Up）
  • 闩锁模块可根据客户需求定制测试夹具板
  • 支持HBM测试前后I-V曲线同坐标下对比

3. 应用

  • 通用器件级ESD测试：适用于晶圆、封装器件、PCB及系统级设备
  • HBM模块：符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883、AEC-Q101-001、AEC-Q100-002、GJB548C及 MIL-STD-750 标准
  • HMM模块：符合 ANSI/ESD SP5.6 标准（50欧姆方法）
  • MM模块：符合 ANSI/ESD STM5.2、JEDEC/JESD22-A115 标准
  • 闩锁(LU)测试：符合 JEDEC JESD78、AEC-Q100-004 标准
  • 外置VF-TLP模块：专为超快上升时间应用而设计

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描述

1.描述

ES612A是一款多功能高性能ESD测试系统，适用于晶圆级与封装级器件评估。该系统支持行业标准ESD测试模型，包括HBM、HMM和MM。内置的直流特性分析功能，可简化ESD失效阈值的判定流程。为增强系统灵活性，ES612A可选配多引脚继电器模块或基于继电器的HBM/MM/LU ATE扩展模块，其中台式扩展模块最高支持到512个引脚，而机柜一体化解决方案最高支持到2560个引脚，是进行器件全面认证与可靠性测试的理想解决方案。

系统的脉冲源设计与脉冲传输方式，确保了波形能够精准传递到被测器件本身。每一次ESD事件中的电流波形均可被自动采集并分析。同时，系统也能采集电压波形，用于确定保护电路的启动电平。这些电压波形还可作为失效判定的另一个重要手段，因为ESD事件后器件的直流特性参数会发生变化。

 

2. 特性

  • 高精度脉冲低寄生参数的HBM/HMM/MM 测试仪
  • 极高的可配置性与可扩展性
  • 基于机器人自动化探针（无限管脚），基于继电器自动化最高支持2560 引脚，8个电源
  • 低寄生脉冲模块完美兼容探针台操作
    • 配备大触摸屏，支持固件升级
    • 可选 闩锁测试功能
    • 可选 软件控制的自动化脉冲及失效测量
  • 可选 脉冲IV及静态IV特性分析
  • 可选配UPS电源，断电持续工作时间（≥5min）
  • 闩锁模块支持后续升级动态闩锁（Dynamic Latching）和瞬态闩锁（Transient Latch-Up）
  • 闩锁模块可根据客户需求定制测试夹具板
  • 支持HBM测试前后I-V曲线同坐标下对比

3. 应用

  • 通用器件级ESD测试：适用于晶圆、封装器件、PCB及系统级设备
  • HBM模块：符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883、AEC-Q101-001、AEC-Q100-002、GJB548C及 MIL-STD-750 标准
  • HMM模块：符合 ANSI/ESD SP5.6 标准（50欧姆方法）
  • MM模块：符合 ANSI/ESD STM5.2、JEDEC/JESD22-A115 标准
  • 闩锁(LU)测试：符合 JEDEC JESD78、AEC-Q100-004 标准
  • 外置VF-TLP模块：专为超快上升时间应用而设计


4. 技术规格

ES612A 主机可选项

参数 ES612A-2K ES612A-4K ES612A-6K ES612A-8K ES612A-12K ES612A-20K ES612A-30K 单位
输出电压 ± 10 ~ 2k ± 10 ~ 4k ± 10 ~ 6k ± 10 ~ 8k ± 10 ~ 12k ± 10 ~ 20k ± 10 ~ 30k V
输出电压步进 1V
输出电压精度 优于± 1 % ± 5 V %
尺寸 347 X 300 X 145 mm
重量 5 6 6 6 6 7 8 kg
V和I测量  无源电压和电流探头
支持的示波器 Keysight, Tektronix, LeCroy品牌的主流型号
支持的SMU Keithley 24xx/26xx 系列 SMU.

 

外置HBM模块(依据 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001标准)

参数 HBM-2K HBM-4K HBM-6K HBM -8K HBM -12K HBM -20K HBM-30K 单位
Output voltage ± 10 ~ 2k ± 10 ~ 4k ± 10 ~ 6k ± 10 ~ 8k ± 10 ~ 12k ± 10 ~ 20k ± 10 ~ 30k V
放电 RC 值 C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1%
短路负载峰值电流Ips 依据标准 ns
短路负载上升时间Trs 2 ≤ Trs ≤ 10 ns
短路负载脉冲持续时间 Tds 130 ≤ Tds ≤ 170 ns
短路负载震荡Irs < 15% of Ips
500 Ω 负载峰值电流Ipr Per standard
500 Ω 负载上升时间Trr 5 ≤ Trr ≤ 25 ns
最大脉冲速率/单个模块 10 （标准）, 15 （选配） P/S
脉冲模块数量 >=8
基于标准ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2024/2023 Annex C5的低寄生HBM N = 9

 

外置HMM模块(依据 ANSI/ESD SP5.6标准)

参数 HMM-12K HMM-24K HMM-36K 单位 备注
HMM 第一峰值电流 45 90 135 A 3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %

IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)
HMM 电流@ 30 ns 24 48 72 A ≤ ± 10 % (优于IEC 61000-4-2的±30%)
HMM 电流 @ 60 ns 12 24 36 A ≤ ± 10 % (优于IEC 61000-4-2的±30%)

 

 

外置MM模块(依据 ANSI/ESD STM5.2标准)

参数 MM-2K MM-4K 单位 备注
输出电压 ±10 ~ 2000 ±10 ~ 4000 V
放电 RC 值 C: 200 pF, R: 0 Ω
短路负载峰值电流Ip1 1.75±10% per 100V A 超过 3 kV的波形将不再呈现出线性增长趋势。如果使用插座，容差范围可能会不同
短路负载Ip2 67% ~ 90% of Ip1 A
短路负载脉冲周期tpm 66 ≤ tpm ≤ 90 ns
500 Ω 负载峰值电流Ipr 0.85 – 1.2 A @400V
500 Ω 负载 I100 0.23 – 0.4 A @400V
500 Ω 负载 I200 I100的30 -50% A

 

ES612-SIV1 模块

测试仪内置静态IV模块

参数 ES612-SIV1 单位 备注
源电压 0 ~ ±40 V
最小步进 0.1 V
精度 ±1%±50mV 测试夹具、方式等可能导致误差不同
最大源电流 100 mA
电流测量精度 ±1%±40nA

 

 

闩锁测试Latch-Up 模块

(依据JEDEC JESD78标准)

参数 ES660-P1-EM1 ES612A–IRC1 ES660-P1-BU ES660-P2-BU 备注
最大管脚数 512 2560 1024 2560
最大电源路数 最高到7+1 最高到7+1 最高到9 + 1 最高到11 + 1 可扩展外置电源
LU 波形捕捉(可选配) 支持 支持 支持 支持 内置 DAQ

or 外部示波器可选
继电器最大DC电压(V) 500 500 500 500
SSR 继电器最大DC电压 (V) 100 100 100 100
每pin最大继电器DC电流（A） 2 2 2 2
DC通道最大DC电流(A) 10 10 15 / 10 15 / 10
默认 LU 源 Vmax (V) >= 100 >= 100 >= 100 >= 100 限流到1 A
默认 LU 源 Imax (A) >= 10 >= 10 >= 10 >= 10 限压到10 V

 

文档

ES612A ESD测试仪(HBM,HMM,MM,LU,TLU)数据手册（PDF）