描述
CMPS-300S紧凑型手动探针台是一种坚固耐用的晶圆探测解决方案,旨在实现高可靠性、紧凑尺寸和低投资成本。它可以手动测量高达300毫米的晶圆。探针台也可用于TLP、HMM、HBM、LV浪涌、RF、S参数和DC测量。可以连接带有真空和磁性底座的微型定位器。卡盘具有用于晶片的真空接口,并且是电隔离的。可以使用多个4mm连接器将电势连接到晶片背面。
三眼立体显微镜的放大倍数为3.5倍至90倍,配有USB摄像头接口和明亮长寿命的LED环形灯。
特点:
- 便携式手动晶圆探针站
- 带真空接口和晶片背面电位连接器的电隔离卡盘
- 3.5-90倍放大的三眼立体显微镜
- 包括500万像素摄像机和软件
- 超长寿命环形LED环形灯
- 高可靠性
- 低成本
应用:
- 用于TLP、HMM、HBM、LV浪涌、RF、S参数和DC测量的通用探针台
- 适用于不同的晶圆或平板设备,面积不超过300 X 300 mm
规格:
CMPS-TSM三眼立体显微镜
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
| 放大倍数范围 | 3.5x – 90x | ||
| 缩放物镜倍率 | 0.7x – 4.5x | ||
| 目镜 (DIN, 30mm) | WH10x20mm | dB | WH10x20mm高眼点 |
| 三眼式端口 | C型安装或23mm | dB | |
| 视野 | 2-1/2 | inch | |
| 光学工作距离 | 最高8 | inch | |
| 显微镜支架 | 双臂吊臂支架 | ||
| 镜头运动 | X-, Y-和Z-轴 | ||
| 照明类型 | 肉眼可见(反射) | ||
| 光源 | 带变阻器的LED环形灯 | mm | |
| 电源 | 110 – 240 | V | |
| 尺寸 | 540 x 480 x 460 | mm | |
| 重量 | 25 | kg |
CMPS-WPS晶圆探针台
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
| 扁平卡盘区域 | 300 X 300 | mm | 最多可连接300毫米晶圆 |
| 晶圆卡盘材料 | 不锈钢 | 顶部镜面抛光 | |
| 晶圆卡盘偏置 | 4 mm接头 | ||
| 尺寸 | mm | ||
| 重量 | kg |
MVP微型真空泵
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
| 可达真空度 | -333 | mbar | |
| 自由空气排量 | 7 | l/min | |
| 入口外径 | 6 | mm | |
| 出口外径 | 6 | mm | |
| 额定电压 | 120 | VAC | |
| 功耗 | 14 | W | |
| 预期寿命 | 3000 | h | |
| 尺寸 | 90 X 90 X 100 | mm | |
| 重量 | 1 | kg |
订购信息 [待更新]
| 编号 | 型号 | 描述 |
| 1 | ||
| 1.1 | ||
| 1.2 | ||
| 1.3 | ||
| 1.4 |
可根据要求提供定制探针测量设计
